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洁净室工程点基本原则
日期：2025-04-03 22:17
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摘要：
洁净室工程建筑特点基本原则：
建筑物的外部环境一大气污染的性质和水平，其中包括季节性的变化；对微电子工业具有决定意义的振动状况。
应考虑到邻近区域的远景发展和洁净室使用后可能造成的后果。
高换气次数和费用巨大的通风空调系统主宰着洁净室的建造费用、因此，凡是在可能之处，采用空气循环，重复利用能源，局部空气清洁装置就起着重要的作用。
工艺设备的布置应做到，只有需要洁净室内工作人员操纵的控制面板进入高洁净度工作区，而产品进、出部位也在高洁净度工作区。
洁净室对人为错误的易受损害性不理解或不愿意搞好个人卫生，不注意行为举止，在本节内作者并不想对整个送风空调系统的一般问题和设计程序作介绍，而是想重点阐明与洁净室有关的专业性问题。
通风空调系统在洁净工作台中起着关键作用。可是，在已完成的系统设计中却也出现了许多错误，通风空调系统不仅影响着平面布置方案，并且还决定着系统的功能是否与设计的生产相符合。
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